臭氧發生器對細菌的滅活總是非常迅速。與其他殺菌劑不同：工業臭氧發生器廠家表示臭氧發生器可與細菌細胞壁脂質雙鍵反應，滲透到細菌內部，作用于蛋白質和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細菌死亡。工業臭氧發生器還作用于細胞中的核物質。臭氧發生器對病毒的影響首先是病毒外殼蛋白的四條多肽鏈，并且RNA被破壞，尤其是形成它的蛋白質。在用臭氧發生器氧化噬菌體后，通過電子顯微鏡觀察表皮被破碎成許多碎片，并且從中釋放出許多核糖核酸，這干擾了對沉積物的吸附，臭氧發生器消毒的徹底性是不容置疑的。

臭氧是一種具有強氧化性質的氣體，可氧化分解空氣中、水中的細菌、病毒、有機物、無機物、芽孢類、真菌等各種有害物質，氧化分解為無味、無毒的物質。臭氧可用在空氣消毒、污水處理、自來水消毒、廢氣處理、煙氣脫硫脫硝、果蔬防腐保鮮等諸多領域使用。臭氧對病毒的滅活機理：工業臭氧發生器是制取臭氧的設備，工業臭氧發生器廠家表示臭氧具有消毒滅菌的功效，對病毒的作用首先是病毒的衣體殼蛋白的四條多肽鏈，并使RNA受到損傷，特別是形成它的蛋白質。

一般情況下，大型臭氧發生器消毒后半小時至一小時內可以變成氧氣，所以這段時間過后可以進入；臭氧的半衰期從25分鐘左右開始，所以30分鐘后就可以進入；根據輸入量，如果有更多，需要在結束后等待40分鐘；工業臭氧發生器廠家表示根據臭氧濃度，一般建議進入前消毒30分鐘，然后打開門窗通風。還有水消毒。寧波工業臭氧發生器廠家表示現在先進的臭氧消毒設備都配備了尾氣分解裝置和臭氧檢測系統，所以不用太擔心。

沿面放電式電極：沿面放電式臭氧發生器：即一般用玻璃管做介電資料，分管內通氣和管外通氣，一種是內電極貼在玻璃管內壁上的鋁網，外電極是石墨等導電涂層管內通氣體。工業臭氧發生器廠家表示另一種是玻璃管內充氮氣和少數的氬氣或者氪氣，充氣壓力為數千pa，內電極是一根鎳絲，外電極是套在玻璃管外壁上的鋁網。管外經過氣體。以上兩種電極只要沿管壁流過的少數氣體參加放電，產值低，工業臭氧發生器產值隨使用時間的積累會逐步減低。